[00085139]一种微型二氧化钒光开关
技术详细介绍
本实用新型公开了一种微型二氧化钒光开关，包括衬底、VO 2 层和电极，衬底和VO 2 层之间设有Si 3 N 4 材料制成的过渡层，在VO 2 层上设有金属加热线。本实用新型无移动部件，膜系本身就是加热器，不必另装加热设备，结构简单、工作可靠，便于大规模集成，低成本、低功耗，同时，由于该光开关可以采用标准半导体制造工艺制作，而且具有开关时间短，对偏振不灵敏，消光比高，插入损耗小的特点，是一种全新的开关器件，可以在光通讯和光传感领域中得到很大的发展。
