[00085658]一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法
技术详细介绍
本发明涉及智能薄膜材料领域，具体涉及一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法。本发明利用磁控溅射方法制备金属钒膜，随后将金属钒膜放入通有氮气的敞口管式炉中进行高温退火处理，保温一定时间后快速取出冷却。该方法无需复杂的真空热处理设备，通过简单的氧化反应，即可获得所需的二氧化钒薄膜。其过程工艺简单可控，所制备的薄膜晶粒尺寸均匀并且细小，相变特性明显，为二氧化钒薄膜材料提供了一种低成本、短周期、可工业化实施的新技术。
本发明涉及智能薄膜材料领域，具体涉及一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法。本发明利用磁控溅射方法制备金属钒膜，随后将金属钒膜放入通有氮气的敞口管式炉中进行高温退火处理，保温一定时间后快速取出冷却。该方法无需复杂的真空热处理设备，通过简单的氧化反应，即可获得所需的二氧化钒薄膜。其过程工艺简单可控，所制备的薄膜晶粒尺寸均匀并且细小，相变特性明显，为二氧化钒薄膜材料提供了一种低成本、短周期、可工业化实施的新技术。
