[00086220]一种掺银氧化钒热敏薄膜材料及其制备方法
技术详细介绍
本发明涉及探测器和电子薄膜技术领域，具体涉及一种掺银氧化钒热敏薄膜材料及其制备方法。本发明以银为掺杂元素制备，元素摩尔百分比含量为银3?10％，钒30?40％，氧50?67％；其TCR为4.2?5.5％/K，电阻温度特性呈现出无相变特征，电阻率0.1?1.1Ω·cm，方阻稳定性在72h后变化率小于10％。先通过溅射工艺分两步沉积银/氧化钒复合薄膜，再通过富氧气氛高温退火得到掺银氧化钒热敏薄膜材料。本发明所制备的掺银氧化钒热敏薄膜材料电阻温度系数高，具有无相变特征，避免了热滞噪声问题，可提高非制冷焦平面器件的灵敏度；且电阻率小，器件可在低偏置条件下工作；其工艺与MEMS工艺兼容性好，适于基于氧化钒热敏薄膜器件的大批量制造。
