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[00086641]一种单斜相二氧化钒外延薄膜及其制备方法

交易价格： 面议

所属行业： 其他

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201310597765.3

交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股

联系人： 四川钒钛产业技术研究院

进入空间

所在地： 四川攀枝花市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明提供了一种单斜相二氧化钒外延薄膜及其制备方法，包括以下步骤：在真空条件下，将钒原子束和氧原子束喷射到衬底上进行反应，外延生长得到单斜相二氧化钒外延薄膜。本发明所制备的单斜相二氧化钒外延薄膜，具有较高的质量和较大的尺寸，而且宏观相变特征显著。

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