[00086755]一种钒钼合金靶材及其制备方法
技术详细介绍
本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法，该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1～90:10，所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5％。该制备方法包括以下步骤：按比例称取钒粉与钼粉，并将两者充分混匀；将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀，并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料；将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作；取下喷涂所得的构件，并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好，稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行，无需模具设计和昂贵的压制设备，操作方便，制备所得的靶材溅射性能优良，杂质少，适用于光学镀膜。
