[00087097]一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构
技术详细介绍
本发明公开了一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构，包括：以三氧化二铝为基底，在基底的一半面积上排列了一层二氧化硅纳米球，另一半不排球，接着在整片基底上沉积有一层二氧化钒薄膜。与传统的单一二氧化钒薄膜结构(相变幅度为1-2个数量级)相比，本发明制备的可提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构(相变幅度为2-3个数量级)，可以显著提高二氧化钒薄膜的相变幅度且操作工艺简单可重复性高。
本发明公开了一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构，包括：以三氧化二铝为基底，在基底的一半面积上排列了一层二氧化硅纳米球，另一半不排球，接着在整片基底上沉积有一层二氧化钒薄膜。与传统的单一二氧化钒薄膜结构(相变幅度为1-2个数量级)相比，本发明制备的可提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构(相变幅度为2-3个数量级)，可以显著提高二氧化钒薄膜的相变幅度且操作工艺简单可重复性高。
