[00087196]一种通过快速热处理制备氧化钒纳米颗粒阵列的方法
技术详细介绍
本发明公开了一种通过快速热处理制备氧化钒纳米颗粒阵列的方法，包括如下步骤：(1)清洗三氧化二铝基片和载波片；(2)提拉单层二氧化硅纳米球：在三氧化二铝基片上，采用提拉镀膜的方法均匀排列一层二氧化硅纳米球；(3)磁控溅射金属钒薄膜：以金属钒作为靶材，采用对靶磁控溅射的方法，在上述步骤(2)中整片三氧化二铝基片上沉积一层金属钒薄膜；(4)快速热处理形成二氧化钒薄膜。本发明所制备的阵列的颗粒尺寸在纳米量级，排列高度有序，同时制备方法较为简单，所需控制的工艺条件较少。在实验步骤相同的情况下，通过调整实验参数，可以制备球形和三角形两种氧化钒纳米颗粒阵列，从而在制备上大大缩短实验周期。
