[00087353]相变型二氧化钒薄膜及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种相变型二氧化钒薄膜，包含包括基层，所述的基层上设有二氧化钒纳米薄膜层，所述的二氧化钒纳米薄膜层上设有红外透光膜层，二氧化钒纳米薄膜层为采用离子束反应溅射法沉积二氧化钒薄膜层，红外透光膜层由高折射率膜和低折射率膜蒸镀或溅射镀制而成，红外透光膜层包括6小层，Tio2薄膜和Sio2薄膜交替蒸镀组成。本发明在高温时具有有反射红外光的功能，而在低温下具有透射红外光的作用，实现了自动调节温度的目的，同时性能稳定。
本发明公开了一种相变型二氧化钒薄膜，包含包括基层，所述的基层上设有二氧化钒纳米薄膜层，所述的二氧化钒纳米薄膜层上设有红外透光膜层，二氧化钒纳米薄膜层为采用离子束反应溅射法沉积二氧化钒薄膜层，红外透光膜层由高折射率膜和低折射率膜蒸镀或溅射镀制而成，红外透光膜层包括6小层，Tio2薄膜和Sio2薄膜交替蒸镀组成。本发明在高温时具有有反射红外光的功能，而在低温下具有透射红外光的作用，实现了自动调节温度的目的，同时性能稳定。
