[00087381]一种氧化钒薄膜及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种氧化钒薄膜及其制备方法，制备过程中通过提升退火中的氧气流速，使制得的氧化钒薄膜的表面变得疏松多孔，同时提高了氧化钒薄膜的相变幅度。该方法克服了氧化钒薄膜制备时间长，相变幅度低的缺点，可严格控制工艺参数，提高工艺重复性及氧化钒薄膜的相变幅度，从而提高器件的灵敏度。同时疏松多孔的形貌增大了薄膜的比表面积，对于提高传感器的气敏性能具有重要作用，可以使其更好的应用于实际。
本发明公开了一种氧化钒薄膜及其制备方法，制备过程中通过提升退火中的氧气流速，使制得的氧化钒薄膜的表面变得疏松多孔，同时提高了氧化钒薄膜的相变幅度。该方法克服了氧化钒薄膜制备时间长，相变幅度低的缺点，可严格控制工艺参数，提高工艺重复性及氧化钒薄膜的相变幅度，从而提高器件的灵敏度。同时疏松多孔的形貌增大了薄膜的比表面积，对于提高传感器的气敏性能具有重要作用，可以使其更好的应用于实际。
