本发明公开了一种氧化钒复合薄膜及其制备方法,其特征在于,该薄膜为氧化钒-富勒烯复合薄膜,即由二维的氧化钒与零维的富勒烯相复合而成。这种氧化钒-富勒烯复合薄膜能结合氧化钒、富勒烯两种成分的优点,克服单纯氧化钒薄膜在制备方法与材料性能等方面的不足,从而能够在保持较高的电阻温度系数的条件下,具备更加优良的导电性、以及在可见光到远红外波段更加优良的光吸收性能;此外,依靠零维富勒烯的光响应各向同性,氧化钒-富勒烯复合薄膜还具有更加灵敏、更加稳定的光学响应特性。采用这种氧化钒-富勒烯复合薄膜作为太赫兹探测器或红外探测器的热敏电阻材料及光吸收材料,能够提高器件的综合性能。