[00087653]金修饰二氧化钒纳米线的二氧化氮气体传感器制备方法
技术详细介绍
本发明涉及一种金修饰二氧化钒纳米线的二氧化氮气体传感器制备方法，该方法步骤主要包括：未抛光石英片的清洗；生长二氧化钒纳米线；金颗粒修饰以及铂电极制备：将金颗粒修饰二氧化钒纳米线置于JCP‑200高真空磁控溅射镀膜机中，用模板法制备铂电极。本发明克服以往金属氧化物半导体气敏元件工作温度高的缺点，通过一维纳米结构，结合金属修饰对器件的改性，在发展低工作温度的NO2传感器方面具有非常重要的研究价值与应用前景。
本发明涉及一种金修饰二氧化钒纳米线的二氧化氮气体传感器制备方法，该方法步骤主要包括：未抛光石英片的清洗；生长二氧化钒纳米线；金颗粒修饰以及铂电极制备：将金颗粒修饰二氧化钒纳米线置于JCP‑200高真空磁控溅射镀膜机中，用模板法制备铂电极。本发明克服以往金属氧化物半导体气敏元件工作温度高的缺点，通过一维纳米结构，结合金属修饰对器件的改性，在发展低工作温度的NO2传感器方面具有非常重要的研究价值与应用前景。
