本发明公开了一种用于低温烟气脱硝的催化剂及其制备方法。它采用选择性催化还原(SCR)技术,以氧化钒为活性组分、氧化钛为载体,且该氧化物催化剂中有部分氧被氟取代,制备催化剂的方法,其中活性组分氧化钒采用浸渍法负载在载体上,载体氧化钛通过溶胶-凝胶法制备,氟取代氧的时间可以是制备载体氧化钛时,或者是负载活性组分氧化钒时,又或者是制备载体氧化钛和负载活性组分氧化钒时。本发明显著提高了低温脱硝活性和催化能力,200℃以上即可达到90%以上的NO脱除率,具备较强工业应用价值,可广泛应用于烟气中氮氧化物的NH 3 选择性催化还原。