[00087718]一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法
技术详细介绍
本发明公开了一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法，该薄膜为氧化钒-碳纳米管复合膜，即由一维碳纳米管与两维氧化钒膜复合而成，构成红外探测器的热敏电阻材料及红外吸收材料。采用这种氧化钒-碳纳米管复合膜用于红外探测器的制作，克服了现有制造技术对敏感薄膜化学结构造成的负面影响，同时，还能够克服单纯的碳纳米管、或单纯的氧化钒材料在电学和光学等性能的不足，提高器件的综合性能。本发明公开的氧化钒-碳纳米管复合膜的制备方法简单，无需复杂、昂贵的成膜设备，降低了制造成本，提高了红外探测器的工作性能，适宜大规模产业化生产。
