[00087870]一种多孔硅基氧化钒纳米棒复合结构的制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种多孔硅基氧化钒纳米棒复合结构的制备方法，先将p型单面抛光的单晶硅基片放入清洗液中清洗，再采用双槽电化学腐蚀法在清洗过的硅基片抛光表面制备多孔硅层，再以金属钒作为靶材，在多孔硅表面溅射形成金属钒薄膜，再将溅射有金属钒薄膜的多孔硅基片置于马弗炉中于550～650℃热处理，制得多孔硅基氧化钒纳米棒复合结构。本发明工艺方法简单，重复性好，参数易于控制，在室温下对NO 2 气体具有较好的气敏特性。
本发明公开了一种多孔硅基氧化钒纳米棒复合结构的制备方法，先将p型单面抛光的单晶硅基片放入清洗液中清洗，再采用双槽电化学腐蚀法在清洗过的硅基片抛光表面制备多孔硅层，再以金属钒作为靶材，在多孔硅表面溅射形成金属钒薄膜，再将溅射有金属钒薄膜的多孔硅基片置于马弗炉中于550～650℃热处理，制得多孔硅基氧化钒纳米棒复合结构。本发明工艺方法简单，重复性好，参数易于控制，在室温下对NO 2 气体具有较好的气敏特性。
