[00087871]一种多孔结构二氧化钒薄膜的制备方法及应用
技术详细介绍
本发明公开了一种多孔结构二氧化钒薄膜的制备方法及应用。采用磁控溅射的方法，用石墨靶和金属钒靶，制备C掺杂金属钒膜；再将掺C的金属钒膜至于退火炉中，在大气条件下退火，得到有相变效果的多孔二氧化钒薄膜。通过控制两个靶材的溅射功率来调整C掺杂量，依据C掺杂量和金属钒膜的厚度选择最佳退火温度、退火时间，可以得到性能优异的二氧化钒薄膜，红外透过率调节幅度达到45％，可见光透过率可达70％。本发明采用的基片为普通玻璃、石英玻璃及透明导电氧化物玻璃，在智能窗、光存储器件与光电开关等领域具有广阔的应用前景。
