[00087916]适于氧化钒或掺杂氧化钒薄膜的电极材料及其制备方法

交易价格： 面议

所属行业： 其他

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201410484775.0

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：四川钒钛产业技术研究院

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所在地：四川攀枝花市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明公开了一种与氧化钒或掺杂氧化钒热敏薄膜接触的电极材料及其复合膜系结构制备方法，采用金属钒纳米层修饰的金属钛薄膜作为与氧化钒或者掺杂氧化钒热敏薄膜的引出电极，该电极可以采用上电极或下电极方式与氧化钒或掺杂氧化钒薄膜形成接触。复合金属电极制备工艺简单，且与IC制造工艺及MEMS制造工艺兼容，易于与氧化钒或掺杂氧化钒薄膜接触形成欧姆接触特性。

[00087916]适于氧化钒或掺杂氧化钒薄膜的电极材料及其制备方法

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