[00087988]一种二氧化钒薄膜的制备方法及其产品和应用
技术详细介绍
本发明公开了一种二氧化钒薄膜的制备方法，包括：（1）将蓝宝石作为基底并进行清洗；（2）将清洗后的基底置于离子束镀膜机中并在室温条件下执行离子束溅射工艺，在此过程中首先对镀膜机内部抽真空至低于5.0×10 -6 Torr，然后向其通入氩气和氧气以形成3.0×10 -4 ~4.0×10 -4 Torr的工作压强，由此在基底上沉积形成二氧化钒薄膜；（3）取出沉积二氧化钒薄膜的基底并在氮气保护氛围下执行退火处理，其中退火温度为420~490℃，退火时间为120~30分钟，退火后冷却由此获得最终产品。本发明还公开了相应的产品和特定用途。通过本发明，能够在室温条件下即可获得相变性能优良、相变幅度大、薄膜颗粒大小一致，排列均匀且可靠性高的产品，而且特别适用于激光防护等方面的用途。
