[00088009]钒掺杂二氧化钛薄膜的制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种钒掺杂二氧化钛薄膜的制备方法，所述制备方法包括：S1、提供一基材；S2、以Ti靶为Ti源，将钒片放置于Ti靶上方，在He和N2气氛中，采用磁控溅射法在基材上生长钒掺杂的TiN薄膜；S3、将钒掺杂的TiN薄膜在O2气氛中进行退火，得到钒掺杂的二氧化钛薄膜。本发明中的钒掺杂二氧化钛薄膜具有良好的稳定性，可有效地提高薄膜的使用寿命，另外该钒掺杂二氧化钛薄膜还具有高透光性，具有较佳的光催化性能，能够有效提高太阳光的利用率。
本发明公开了一种钒掺杂二氧化钛薄膜的制备方法，所述制备方法包括：S1、提供一基材；S2、以Ti靶为Ti源，将钒片放置于Ti靶上方，在He和N2气氛中，采用磁控溅射法在基材上生长钒掺杂的TiN薄膜；S3、将钒掺杂的TiN薄膜在O2气氛中进行退火，得到钒掺杂的二氧化钛薄膜。本发明中的钒掺杂二氧化钛薄膜具有良好的稳定性，可有效地提高薄膜的使用寿命，另外该钒掺杂二氧化钛薄膜还具有高透光性，具有较佳的光催化性能，能够有效提高太阳光的利用率。
