[00088232]一种钒铝硅三元合金靶材及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种钒铝硅三元合金靶材及其制备方法，该钒铝硅三元合金靶材由钒、铝、硅三种元素构成，其原子百分含量分别为：钒20％～70％，硅1％～10％，余量为铝。本发明还包括钒铝硅三元合金靶材的一种制备方法。该方法是将符合特定计量比的钒粉、铝粉和硅粉三种粉末充分混合均匀后冷压预制成坯，然后经真空脱气处理，最后在真空气氛下于一定的温度和压力下热压成钒铝硅三元合金靶材。本发明采用的真空热压制备钒铝硅三元合金靶材方法，制备工艺简单，生产周期短，获得的靶材纯度高(纯度大于99.5％)，组织均匀，致密度高(相对密度＞99.4％)，所构筑的VAlSiN涂层的硬度介于30-45GPa，适合各种工模具表面的防护涂层。
