[00088675]一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法
技术详细介绍
本发明利用晶体生长的模板诱导作用原理，提供了一种二氧化钒薄膜在玻璃衬底上的低温沉积方法。以玻璃为衬底，依次包括如下步骤：(a)玻璃衬底的清洗与预处理；(b)制备二氧化硅扩散阻隔层；(c)制备金属氧化物缓冲层；(d)制备二氧化钒热色层。本发明采用的金属氧化物缓冲层材料在可见光区域透明、结晶温度低、晶形与二氧化钒能够很好匹配，在二氧化钒薄膜的生长过程能产生模板诱导作用，从而可大幅降低二氧化钒薄膜的沉积温度。简化二氧化钒智能玻璃的制备工艺，降低成本，节约能耗，大大降低了二氧化钒智能玻璃产业化过程的难度。
