本发明公开了一种高纯钒硅合金的制备方法,具体为:准备钒和硅的原料;硅原料在下、钒原料在上装入水冷铜坩埚中;将电子束熔炼炉抽真空,在真空条件下开启电子枪的高压和束流,调节电子枪功率,至原料完全熔化得到钒硅熔体;将钒硅熔体在表面温度2000~2500℃条件下保温10~30min;快速降低电子枪功率并停止电子束轰击,得到钒硅铸锭,待钒硅铸锭降温至室温后,向电子束熔炼炉中通入干洁空气并置换炉内气氛;取出钒硅铸锭并去除其表面渣皮,得到高纯钒硅铸锭。本发明的有益效果是:所得合金纯净度较高,且没有坩埚等的污染;利用电子束的搅动作用实现熔体组分的均匀化,所得合金组织和成分均匀性较好。