[00088733]一种高可见光透过率二氧化钒基薄膜的制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种高可见光透过率二氧化钒薄膜的制备方法。该方法包括如下步骤：1)在衬底上通过制备金属钒薄膜；2)将制备好的金属钒薄膜在真空条件下通氧退火得到有相变效果的二氧化钒薄膜，退火参数为：退火气压10Pa～80Pa，退火时间60min～90min，退火温度400℃～550℃；3)将具有相变效果的二氧化钒薄膜在真空条件下通氧退火使其表面过氧化生成五氧化二钒，退火参数为：退火气压100Pa～2000Pa，退火时间为20min～40min，退火温度为400℃～550℃。该五氧化二钒膜层可起到增加可见光透过率的效果，并且与二氧化钒膜层结合紧密，不易脱落。该方法制备的二氧化钒薄膜可见光透过率高，相变效果明显，并且相变温度可调，能够适应不同的需求，可以应用到智能窗领域。
