本发明公开了一种高碳铬钼钒粉末冲模钢精密零件的热处理淬火工艺,包括以下步骤:(1)将平均厚度32mm的工件放入淬火炉中分两次预热至150℃;(2)在淬火炉中分二级加热至淬火温度1018℃并保温;(3)将工件出炉风冷至65℃;(4)将工件两次入回火炉510℃保温回火,出炉空冷。所述的将平均厚度约32mm的工件放入淬火炉中分两次预热,第一次以小于75℃/小时的加热速度至100℃,第二次以小于115℃/小时的加热速度至150℃。本发明可靠地保证精密零件极高的抗磨粒磨损和高抗压强度、良好的韧性、热处理的尺寸稳定性等优良性能,达到精密零件的使用要求。