[00088836]一种高硬度耐磨损的硼化钒涂层及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种高硬度耐磨损的硼化钒涂层，所述的涂层组成为VxBy，其中y/x＝1.5～2.4；所述的涂层由长短不一的柱状晶组成，柱状晶宽度为50nm～300nm，柱状晶长宽比为5～30；涂层密度在4.0g/cm3～4.9g/cm3；所述的涂层利用X射线衍射(XRD)检测，具有高度(001)择优取向。本发明还公开了高硬度耐磨损的硼化钒涂层的制备方法，制备的硼化钒涂层具有高硬度H≥35GPa，摩擦系数为0.4～0.6，对直径6mm的Al2O3研磨球在5N的作用力下，涂层的磨损率为～10-16m3/N·m数量级。该涂层适合高温、高压下用来增强器件表面的耐磨性，延长器件的使用寿命。
