[00089113]基于五氧化二钒多级纳米网络结构乙醇气体传感器元件的制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种基于五氧化二钒多级纳米网络结构乙醇气体传感器元件的制备方法，以种子层诱导生长途径实现传感器基底表面多级氧化钒纳米网络结构的直接原位组装，形成具有双工作温度特性的高性能氧化钒基乙醇气体传感器元件的方法，避免了气敏材料的二次转移工艺过程；在基片上原位形成的多级纳米结构呈现连续、多孔、疏松状微结构特征，具有明显高的比表面积；气敏薄膜与电极之间形成了可靠的电学接触。利用本发明方法制备的传感器元件对乙醇气体具有在室温和250℃下的双工作温度和双重响应特性，且具有设备简单、操作方便、工艺参数易于控制、成本低廉等优点。
