[00089144]金掺杂多孔硅/氧化钒纳米棒气敏材料的制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种金掺杂多孔硅/氧化钒纳米棒气敏材料的制备方法：首先将p型单面抛光的单晶硅基片清洗干净，采用双槽电化学腐蚀法在其抛光表面制备多孔硅层，再在多孔硅表面溅射形成金属钒薄膜；再将其置于离子溅射仪的真空室中，采用金为靶材，在多孔硅/金属钒薄膜表面沉积金薄膜，溅射电流5mA，溅射时间10s～30s；再于550～650℃热处理，制得金掺杂多孔硅/氧化钒纳米棒气敏材料。本发明的工艺方法简单，重复性好，参数易于控制，在室温下对低浓度二氧化氮气体具有较好的气敏特性。
