[00089147]一种金三角纳米颗粒阵列与二氧化钒薄膜复合嵌套结构的制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种金三角纳米颗粒阵列与二氧化钒薄膜复合嵌套结构的制备方法，包括蓝宝石基底的清洗、制备单分散SiO2掩膜层、制备金三角纳米颗粒阵列结构、制备钒薄膜、二氧化钒薄膜的制备、金反射层的制备六个步骤，本发明制备的薄膜是由金三角纳米颗粒阵列、二氧化钒薄膜以及金反射层组成，通过调整制备顺序，使金三角纳米颗粒阵列能够嵌套至二氧化钒薄膜中，实现共振波长的可调性。应用本发明的薄膜制备的吸收器具有在可见光—近红外波段共振波长的较宽可调，吸收效率高、结构简单、体积小等优点，可应用于光探测、电磁开关以及传感器等方面。
