[00089170]一种颗粒及短棒状氧化钒薄膜的制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种颗粒及短棒状氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)清洗陶瓷片基底；(2)磁控溅射在陶瓷片基底上制备Pt的叉指电极；(3)磁控溅射制备金属钒的薄膜；(4)磁控溅射在纯的金属V膜上喷铜；(5)快速退火制备氧化钒薄膜。本发明方法可快速制备颗粒及短棒状氧化钒薄膜，可严格控制工艺参数，提高工艺重复性及氧化钒薄膜的表面积。使得氧化钒薄膜在气敏传感器的灵敏度提高方面具有很大的潜力，可以更好的应用于实际。
本发明公开了一种颗粒及短棒状氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)清洗陶瓷片基底；(2)磁控溅射在陶瓷片基底上制备Pt的叉指电极；(3)磁控溅射制备金属钒的薄膜；(4)磁控溅射在纯的金属V膜上喷铜；(5)快速退火制备氧化钒薄膜。本发明方法可快速制备颗粒及短棒状氧化钒薄膜，可严格控制工艺参数，提高工艺重复性及氧化钒薄膜的表面积。使得氧化钒薄膜在气敏传感器的灵敏度提高方面具有很大的潜力，可以更好的应用于实际。
