[00089197]快速热氧化方法制备的相变二氧化钒薄膜
技术详细介绍
本发明公开了一种快速热氧化方法制备的相变二氧化钒薄膜，目的是克服在制备具有相变特性的二氧化钒薄膜的现有制备方法的调控参数多、工艺复杂、实验可控性较差的缺点。本发明对于溅射时间为10-30min的金属钒薄膜，快速热氧化温度430℃-500℃，快速热氧化时间30s-90s（保温时间）可获得热致相变特性；快速热氧化过程中，升温速度为50℃/s，降温时间在3分钟以内，工作气体为高纯氧气或者氮氧混合气体。本发明可重复性高，适用于大面积生产。
