[00089268]一种利用抗反射仿生表面制备二氧化钒增透薄膜的方法
技术详细介绍
本发明公开了一种利用抗反射仿生表面制备二氧化钒增透薄膜的方法，是将抗反射仿生表面与二氧化钒的相变特性相结合，采用提拉镀膜的方法制备低成本，大面积的抛物线形二氧化硅抗反射仿生表面，接着在仿生表面上通过磁控溅射和快速热处理沉积一层二氧化钒薄膜，与刻蚀的方法相比，本发明中使用的提拉镀膜的方法成本低，形成的仿生表面排列整齐且面积大，方法较为简单，所需控制的工艺条件较少，且易于控制。本发明将抛物线形二氧化硅抗反射仿生表面的增透性能与二氧化钒的相变特性相结合，制备出一种二氧化钒增透薄膜，与平面薄膜相比，透射率有明显的增强。
