[00089905]一种用于石墨烯生长的工艺腔
联系人： 中科院重庆绿色智能技术研究院德领科技
所在地： 重庆重庆市
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技术详细介绍
本发明公开了一种用于石墨烯生长的工艺腔。
石墨烯生长的工艺用于生产石墨烯薄膜，包括腔体，所述腔体的上端和下端的内壁上均设有一环形安装槽，每个所述环形安装槽中均设有耐高温碳碳材料圆筒。本发明中，由于腔体的上端和下端管壁安装了耐高温碳碳材料圆筒，碳碳材料容易吸附铜及黑色炭残留物，腔体长时间使用后铜及黑色炭残留物聚集在耐高温碳碳材料圆筒上，当腔体使用40天至50天后，拆掉耐高温碳碳材料圆筒，安装新的耐高温碳碳复合材料圆筒，石墨烯生长的工艺可以恢复生产，工艺腔的清洗间隔周期延长，清洗过程时间缩短。
