[00009779]基于微纳操作机器人的高通量多模式表征系统和方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种基于微纳操作机器人的高通量多模式表征系统和方法。该系统应用在扫描电子显微镜下，主要包括微纳操作机器人、测试单元切换装置、多模式测试单元。该系统所采用的方法为：利用扫描电子显微镜大视场搜索能力快速锁定目标，驱动微纳操作机器人对表征目标进行精准微操控，通过控制测试单元切换装置实现多模式测试单元的快速转换，达到末端执行器自动更换与多性能表征并行实施的目的，从而实现高通量多模式表征测试。本发明具备高通量多模式表征能力，且具有操控速度快、表征效率高等特点。
