[00009889]基于图形化碳纳米管阵列的复合型界面散热材料的制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种基于图形化碳纳米管阵列的界面散热材料的制备方法，包括如下步骤a.在单晶硅上制备一层催化剂薄膜；b.将步骤a得到的催化剂薄膜进行图形化处理；c.在步骤b得到硅片上制备图形化的碳纳米管阵列；d.将碳纳米管阵列转移到热释放胶带上；e.将热释放胶带上的碳纳米管阵列进行致密；f.将框形模具粘在热释放胶带上，加入一定质量分数的银胶，固化后去除模具和热释放胶带。本发明方法能够较大地提高碳纳米管阵列的机械强度，较大程度地降低碳纳米管之间的空隙率，提高了碳纳米管阵列的导热效率。此外本发明方法在碳纳米管阵列的转移工艺中采用了热释放胶带，转移效果好，转移得到的碳纳米管阵列的完整性较好。
