[00090301]一种THz波段氧化钒光开关及其制作方法
技术详细介绍
本发明公开了一种THz波段氧化钒光开关及其制作方法，涉及光通讯技术领域，氧化钒光开关由氧化钒薄膜构成，所述氧化钒光开关装载在太赫兹时域频谱系统或调制解调器中。该方法包括以下步骤：利用反应磁控溅射方法在硅衬底材料上制备氧化钒薄膜；利用太赫兹时域频谱系统产生THz波，当THz波传输时，激光激发所述氧化钒薄膜，使得THz波不能通过所述氧化钒薄膜，实现了所述氧化钒光开关的关闭；利用所述太赫兹时域频谱系统产生THz波，当THz波传输时，撤掉激光，使得THz波通过氧化钒薄膜，实现了所述氧化钒光开关的开启。通过本发明提供的THz波段氧化钒光开关及其光开关的制作方法，实现了开关速度快、插入损耗低、消光比高等。
