[00090825]一种无残余层的卷对卷纳米压印设备
技术详细介绍
一种无残余层的卷对卷纳米压印设备。
纳米压印设备包括传输机构、涂覆机构、压印机构、固化机构；传输机构包括两组进料辊/收料辊，第一组将待压印液态聚合物物送至压印机构、并携带走残余层聚合物，另一组用于接收压印机构上的成形固化聚合物；当缠绕于进料辊/收料辊上的薄膜与压印机构中的模板辊分离时，聚合物被撕裂，残余层聚合物随薄膜前进，余下聚合物正好完全充满模板辊图案；在模板辊下方完成残余层剥离的聚合物旋转到上方时，受固化机构的作用而固化成型，当模板辊与上方薄膜分离时，固化成型的聚合物完全跟随薄膜前进，得到无残余层的图案。纳米压印设备可以连续、高效、廉价地进行无残余层纳米尺度图案转移。
