[00091406]一种掺铝氧化锌透明导电薄膜及其制备方法
技术详细介绍
本发明涉及一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的方法，采用低沸点溶剂和稳定剂与易水解原料配制旋涂液，旋涂于亲水基片上，经老化、热处理和气氛退火步骤，得到AZO透明导电薄膜。本发明的方法原料易得、操作简便、成本低、环境友好，且适用于柔性衬底。本发明还涉及由此制得的AZO透明导电薄膜，其致密性佳、电阻率较小、掺杂率和膜厚度可调，性能优异，在光电领域具有良好应用的前景。
本发明涉及一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的方法，采用低沸点溶剂和稳定剂与易水解原料配制旋涂液，旋涂于亲水基片上，经老化、热处理和气氛退火步骤，得到AZO透明导电薄膜。本发明的方法原料易得、操作简便、成本低、环境友好，且适用于柔性衬底。本发明还涉及由此制得的AZO透明导电薄膜，其致密性佳、电阻率较小、掺杂率和膜厚度可调，性能优异，在光电领域具有良好应用的前景。
