本发明涉及一种六氟丙烷基PMO薄膜的制备方法及应用;制备方法包括如下步骤:(1)制备六氟丙烷基前驱体分子溶液;在干燥氮气的保护下,向异氰酸-3-(三乙氧硅基)丙酯的丙酮溶液中加入2,2-双(3-氨基-4-羟苯基)六氟丙烷的丙酮溶液,冰浴中反应1.5~3h,加热至室温并保温2~5h,制得六氟丙烷基前驱体分子溶液;(2)制备涂膜溶液:前驱体分子溶液中加入模板剂、溶剂和稀盐酸,制得涂膜溶液,模板剂的添加量为0~100%;(3)制备PMO薄膜;将涂膜溶液涂于基底表面,固化,制得PMO薄膜。本制备方法通过增大分子孔隙体积、降低分子极性、提高交联度,达到新型PMO薄膜介电常数的降低和力学性质的保障。