本发明涉及一种PMO薄膜的制备方法及应用；其中制备方法包括如下步骤：(1)提供酰氯化合物；(2)制备前驱体分子溶液；将所述酰氯化合物、3-氨基丙基三乙氧基硅烷及三乙胺混合，反应制得前驱体分子溶液；酰氯化合物:3-氨基丙基三乙氧基硅烷:三乙胺的摩尔比为0.5～1:1～2:1.2～2.4；前驱体分子的结构式为：(3)制备涂膜溶液：向前驱体分子溶液中加入模板剂、溶剂和稀盐酸，制得涂膜溶液，模板剂的添加量为0～100％；(4)制备PMO薄膜；将涂膜溶液涂于基底表面，固化，制得PMO薄膜。本方法通过增大分子孔隙体积、降低分子极性、提高交联度，达到新型PMO薄膜介电常数的降低和力学性质的保障。
