[00091527]磁性封装微机器人及其制备方法
技术详细介绍
一种生物相容性封装的磁性微机器人的制备方法，包括提供硅片，在硅片上制备Omnicoat牺牲层；在Omnicoat牺牲层上旋涂SU‑8光刻胶形成SU‑8基层；得到第一预制层结构；进行烘烤；进行图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；在SU‑8基层上涂覆磁性复合材料，进行烘烤；进行图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；进行显影操作,去离子水清洗，风干；涂覆SU‑8光刻胶；进行烘烤；图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；进行显影操作，去离子水清洗，风干；得到生物相容性封装的磁性微机器人。上述磁性封装微机器人生物相容性和耐化学性较好。
