[00091528]一种增强聚酰亚胺基底和导电金属层之间的粘附力的方法

交易价格： 面议

所属行业： 自动化元件

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201610716039.2

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：中国科学院深圳先进技术研究院

所在地：广东深圳市

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技术详细介绍

本发明提供了一种增强聚酰亚胺基底和金属层之间的粘附力的方法，所述方法是通过在聚酰亚胺薄膜表面构筑微纳结构，使得聚酰亚胺薄膜与金属导电层之间的粘附力得到很大提高，在后续的工艺中聚酰亚胺基底和Ti/Pt金属导电层之间不易剥离脱落，保证了微电极阵列的长期有效稳定植入。