[00091930]环形腔器件及其制作方法
联系人： 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
所在地： 江苏苏州市
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技术详细介绍
摘要：本发明提供一种环形腔器件，包括无源环形波导以及与所述无源环形波导平面耦合的输入输出波导，还包括与所述无源环形波导和/或输入输出波导垂直耦合的有源波导结构，所述有源波导结构对无源环形波导提供损耗补偿。本发明还提供一种环形腔器件的制作方法。本发明可通过垂直耦合或者混合耦合（先垂直耦合然后平面耦合）使环形腔器件获得部分增益，从而补偿该环形腔器件内的损耗，提高其品质因子。
