[00091961]波导型偏振转换器及其制备方法
联系人： 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
所在地： 江苏苏州市
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技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种波导型偏振转换器，包括偏振转换波导以及与所述偏振转换波导两端耦合的输入波导和输出波导，所述偏振转换波导包括波导层、介质层和金属层，所述介质层覆设于所述波导层的顶面和至少一侧面，所述金属层覆设于所述介质层的顶面和一侧面。本发明还公开了如上所述偏振转换器的制备方法。本发明提供的基于表面等离激元的波导型偏振转换器，其制备工艺简单、尺寸紧凑、偏振转换效率高，在光子集成回路中具有重要应用前景。
