[00091962]线栅结构及其制造装置
联系人： 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
所在地： 江苏苏州市
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技术详细介绍
摘要：本发明提供了一种太赫兹波段的线栅结构，其包括第一圆环、第二圆环以及多根金属线，其中，所述第一圆环和所述第二圆环彼此贴合在一起，所述多根金属线等间隔夹设于所述第一圆环和所述第二圆环之间，每根金属线横跨所述第一圆环和所述第二圆环的内圆。本发明还提供了一种该线栅结构的制造装置。本发明制造金属线栅结构的方法简单，成品率较高，与传统光刻技术获得的线栅相比，可在提高性能的基础上大大降低了成本。此外，由于本发明的金属线栅结构是利用自动控制通过缠绕法绕制后分离而成，没有衬底支撑消除了干涉的影响，因此提高了偏振传输性能。
