[00091966]柔性气敏传感器及其制备方法
联系人： 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
所在地： 江苏苏州市
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技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种柔性气敏传感器，包括依次叠层设置的衬底、第一电极、第一介电层、气体敏感材料层、第二介电层以及第二电极；所述衬底为柔性衬底，所述气体敏感材料为碳纳米管材料或其功能化复合材料、石墨烯纳米材料或其功能化复合材料。本发明还公开了如上所述的柔性气敏传感器的制备方法，应用印刷电子工艺在所述柔性衬底上依次制备第一电极、第一介电层、气体敏感材料层、第二介电层以及第二电极。本发明提供的柔性气敏传感器结构简单、制备工艺简便、灵敏度高、成本较低。
