[00091967]芯片器件及其制作方法
联系人： 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
所在地： 江苏苏州市
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技术详细介绍
摘要：本发明属于拉曼光谱检测技术领域，尤其公开了一种用于拉曼检测的芯片器件，其包括基底、纳米颗粒层以及多孔层；其中，所述基底的表面凹陷形成间隔排列的多个凹槽，所述凹槽的槽壁以及位于两相邻的所述凹槽之间的基底的表面上覆盖有多孔层；所述纳米颗粒层覆盖于所述多孔层上。根据本发明的芯片器件具有多孔结构，具备较大的局域电磁场效应以及更多的拉曼活性增强点，使得该芯片器件具有高灵敏度。本发明还公开了上述芯片器件的制作方法，该制作方法工艺简单，生产成本低，适于大批量生产。
