[00091986]微机电系统器件及其制备方法
联系人： 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
所在地： 江苏苏州市
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技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种微机电系统器件，包括衬底和功能薄膜层，所述衬底包括第一表面、第二表面和背通孔，所述第一表面和所述第二表面相对，所述功能薄膜层设置在所述第一表面上，所述背通孔贯穿所述第一表面和所述第二表面，所述功能薄膜层具有多个第一通孔，所述第一通孔与所述背通孔连通。本发明还公开了一种微机电系统器件的制备方法。本发明中的微机电系统器件成本低，可用于制作流体传感器和生物分子筛等器件，其衬底采用普通硅片即可，制备工艺步骤少，便于优化器件性能，达到较高的良率，均采用干法工艺进行刻蚀，具有较好的兼容性。
