[00092001]挡板

交易价格： 面议

所属行业： 其他新材料技术

类型： 实用新型专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201220222967.0

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：中国科学院深圳先进技术研究院

进入空间

所在地：广东深圳市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

一种挡板，包括用于启闭源炉开口的第一遮挡层和第二遮挡层、连接第一遮挡层和第二遮挡层的连接杆，第一遮挡层和第二遮挡层位于源炉开口的同一侧且第二遮挡层较第一遮挡层远离源炉开口。上述挡板，在源炉温度较高时，只会使第一遮挡层具有较高的温度，第二遮挡层的温度相对较低，不会使沉积在第二遮挡层的杂质散发，不会影响衬底上合成材料的质量。

[00092001]挡板

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