[00093105]一种类金刚石厚膜及其制备方法及一种工件
技术详细介绍
摘要：本发明提供了一种类金刚石厚膜，包括结合层；复合于结合层的过渡层；复合于过渡层的类金刚石膜层；所述类金刚石膜层由sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加而成。本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加，得到类金刚石膜层，其中不涉及到引入外加异质元素，有效避免了异质元素掺杂导致膜层力学性能恶化的难题。并且，本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜进行叠加，大大降低了层与层之间的应力，层与层之间结合力较强，不会发生剥离。
摘要：本发明提供了一种类金刚石厚膜，包括结合层；复合于结合层的过渡层；复合于过渡层的类金刚石膜层；所述类金刚石膜层由sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加而成。本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加，得到类金刚石膜层，其中不涉及到引入外加异质元素，有效避免了异质元素掺杂导致膜层力学性能恶化的难题。并且，本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜进行叠加，大大降低了层与层之间的应力，层与层之间结合力较强，不会发生剥离。
