[00093106]一种原位表征系统分子束外延生长源的延伸装置
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种原位表征系统分子束外延生长源的伸长装置，它包括有支撑套(11)、限孔盲板(14)、大齿轮(12)、小齿轮(15)、旋转杆(17)和延伸管(28)，在支撑套的管腔(11a)的口部装有限孔盲板(14)，管腔(11a)内部装有相互啮合的大齿轮(12)和小齿轮(15)，旋转杆(17)靠近管腔(11a)内侧壁，小齿轮(15)固定在旋转杆(17)中段，限孔盲板(14)中心开有分子束通孔(35)，大齿轮(12)在转轴侧边沿轴向开有分子束过孔(34)，延伸管(28)固定插接在支撑套(11)的管筒(11b)内。本发明的技术效果是解决了原位表征系统分子束外延生长源发散度大的问题，实现了分子在衬底的微小区域生长，避免了真空部件污染，提高了工作效率。
