[00094472]三段组合式超精密定位台及其定位方法
技术详细介绍
本发明涉及精密机械加工的技术领域，提出一种超精密定位台，以及将粗定位、精定位和超精定位相结合的三段组合式定位方法。其中，粗定位采用计算机视觉定位方法，定位台在较大的工作行程范围内大部驱动粗定位机构移动，快速完成粗定位；精定位采用粗光栅定位方法，计算机再依据粗光栅产生的莫尔信号大小和极性，判断出位置偏差，以较快速度驱动粗定位机构移动，完成精定位；超精定位采用细光栅定位方法，采用压电陶瓷微位移驱动器，以确保高的定位精度。本发明采用三段组合式定位方法，并利用大步快速驱动与精密驱动相结合的定位，可使超精密定位台在较大的工作行程内实现高精度定位的同时，又能大大缩短定位时间，实现高速定位。
